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      “中国芯”关键材料国产化

      磷烷安全源(PH? AGS)
      • 中文名：磷烷安全源
      • 英文名：Phosphine AGS
      • CAS号：7803-51-2
      • 熔点：-133℃
      • 沸点：-87.7℃
      • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
      • 产品等级：5N7
      • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
      砷化氢(AsH?)
      • 中文名：砷化氢
      • 英文名：Arsine
      • CAS号：07784-42-1
      • 熔点：-116℃
      • 沸点：-62.5℃
      • 蒸气压：1463kPa(20℃)
      • 产品等级：6N、6N5
      • 规格：40L
      三氟化硼安全源(BF? AGS)
      • 中文名：三氟化硼安全源
      • 英文名：Boron Trifluoride AGS
      • CAS号：07784-42-1
      • 熔点：-126.8℃
      • 沸点：-100℃
      • 蒸气压：1013.25kPa(-58℃)
      • 产品等级：3N
      • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
      磷化氢(PH?)
      • 中文名：磷化氢
      • 英文名：Phosphine
      • CAS号：7803-51-2
      • 熔点：-133℃
      • 沸点：-87.7℃
      • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
      • 产品等级：6N、6N5
      • 规格：44L
      安全源砷烷(AsH? AGS)
      • 中文名：砷烷安全源
      • 英文名：Arsine AGS
      • CAS号：07784-42-1
      • 熔点：-116℃
      • 沸点：-62.5℃
      • 蒸气压：1463kPa(20℃)
      • 产品等级：5N5
      • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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